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XP-703D新宇宙cosmos泵吸式半导体特气检漏仪XP-703DIII

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产品特点:
型号XP-703D检测对象气体半导体材料气体(胂、膦、、硅烷、氢气等)检测原理热线型半导体式采样方式自动吸引式可检测浓度(单位:ppm)砷烷磷烷硅烷氢气AsH3PH3B2H6SiH4H20
 
XP-703D新宇宙cosmos泵吸式半导体特气检漏仪XP-703DIII的详细资料:






型 号
XP-703D
检测对象气体
半导体材料气体(胂、膦、、硅烷、氢气等)
检测原理
热线型半导体式
采样方式
自动吸引式
可检测浓度
(单位:ppm)
砷烷 磷烷 硅烷 氢气
AsH3 PH3 B2H6 SiH4 H2
0.2 0.3 0.1 0.5 1.0
检测表示
蜂鸣器断续鸣响及指示灯闪烁
应答速度
10秒以内

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