型号XP-703D检测对象气体半导体材料气体（胂、膦、、硅烷、氢气等）检测原理热线型半导体式采样方式自动吸引式可检测浓度（单位：ppm）砷烷磷烷硅烷氢气AsH3PH3B2H6SiH4H20

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